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【摘要】
Alumina-aluminum nitride has high thermal conductivity, good insulation performance, and good high temperature resistance, and has been widely used in electronics, semiconductors and other fields. However, ceramic materials have high hardness and brittleness, and their molding and processing are very difficult, especially the processing of micropores.
激光加工陶瓷线路板主要有激光打孔和激光切割两种:
氧化铝-氮化铝等高导热、绝缘性能好、耐高温性能好,在电子、半导体等领域得到了广泛的应用。但陶瓷材料具有较高的硬度和脆性,其成型加工十分困难,特别是微孔的加工尤为困难。因为激光具有很高的功率密度和良好的指向性,目前陶瓷薄板普遍采用激光打孔,激光陶瓷打孔一般是用脉冲激光或准连续激光(光纤激光器),激光束通过光学系统聚焦于与激光轴垂直放置的工件上,发出高能量密度(10-10*9*cm2)的激光激光束经激光切割头喷射到与激光轴垂直放置的工件上,发出高能量密度(10-10*9*cm2)的激光切割头,逐渐形成通孔。
因电子元件及半导体元件尺寸小、密度高,对激光打孔加工精度和速度有较高要求,根据元件应用的不同,因电子元件及半导体元件应用的不同要求,对激光打孔加工的精度和速度有较高要求,因元件应用的不同要求,因电子元件及半导体元件尺寸小、密度高等特点,对激光打孔加工的精度和速度有较高要求,根据元件应用的不同要求,微孔直径范围为0.05~0.2mm。在陶瓷精密加工中,一般激光焦斑直径≤0.05mm,根据陶瓷薄片厚度大小不同,通常可以通过控制离焦量来实现不同孔径的通孔,对于直径小于0.15mm的通孔,可以通过控制离焦量来实现打孔。
目前,陶瓷线路板的切割主要有水刀切割和激光切割两种,目前激光切割市场更多的是光纤激光器。用光纤激光切割陶瓷线路板有以下优点:
1、精确度高、速度快、切缝窄、受热区小、切割表面光滑、无毛刺。
2、激光切割头与材料表面不得接触,不得刮伤工件。
3、切割缝狭窄,热影响区小,工件局部变形小,无机械变形。/4、具有良好的加工灵活性,可加工任意形状,也可切割管材和其它型材。
伴随着5G建设的不断推进,精密微电子、航空船舶等工业领域也有了长足的发展,陶瓷衬底的应用也越来越广泛。在这些方面,陶瓷基板PCB由于其优异的性能而得到越来越多的应用。
瓷基板是高功率电子电路结构技术和互连技术的基础材料,其结构致密,具有一定的脆性。常规的加工方法,对非常薄的陶瓷薄片,在加工过程中会出现应力,很容易产生破碎。
随着轻量化、小型化的发展趋势,传统的切削加工方法由于精度不高,早已不能满足要求。作为一种非接触加工工具,激光作为一种非接触加工工具,它在陶瓷基板PCB加工中起到了十分重要的作用。
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