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【摘要】
氧化铝-氮化铝等高导热、绝缘性能好、耐高温性能好,在电子、半导体等领域得到了广泛的应用。但陶瓷材料具有较高的硬度和脆性,其成型加工十分困难,特别是微孔的加工尤为困难
激光加工陶瓷线路板主要有激光打孔和激光切割两种:
氧化铝-氮化铝等高导热、绝缘性能好、耐高温性能好,在电子、半导体等领域得到了广泛的应用。但陶瓷材料具有较高的硬度和脆性,其成型加工十分困难,特别是微孔的加工尤为困难。因为激光具有很高的功率密度和良好的指向性,目前陶瓷薄板普遍采用激光打孔,激光陶瓷打孔一般是用脉冲激光或准连续激光(光纤激光器),激光束通过光学系统聚焦于与激光轴垂直放置的工件上,发出高能量密度(10-10*9*cm2)的激光激光束经激光切割头喷射到与激光轴垂直放置的工件上,发出高能量密度(10-10*9*cm2)的激光切割头,逐渐形成通孔。
因电子元件及半导体元件尺寸小、密度高,对激光打孔加工精度和速度有较高要求,根据元件应用的不同,因电子元件及半导体元件应用的不同要求,对激光打孔加工的精度和速度有较高要求,因元件应用的不同要求,因电子元件及半导体元件尺寸小、密度高等特点,对激光打孔加工的精度和速度有较高要求,根据元件应用的不同要求,微孔直径范围为0.05~0.2mm。在陶瓷精密加工中,一般激光焦斑直径≤0.05mm,根据陶瓷薄片厚度大小不同,通常可以通过控制离焦量来实现不同孔径的通孔,对于直径小于0.15mm的通孔,可以通过控制离焦量来实现打孔。
目前,陶瓷线路板的切割主要有水刀切割和激光切割两种,目前激光切割市场更多的是光纤激光器。用光纤激光切割陶瓷线路板有以下优点:
1、精确度高、速度快、切缝窄、受热区小、切割表面光滑、无毛刺。
2、激光切割头与材料表面不得接触,不得刮伤工件。
3、切割缝狭窄,热影响区小,工件局部变形小,无机械变形。/4、具有良好的加工灵活性,可加工任意形状,也可切割管材和其它型材。
伴随着5G建设的不断推进,精密微电子、航空船舶等工业领域也有了长足的发展,陶瓷衬底的应用也越来越广泛。在这些方面,陶瓷基板PCB由于其优异的性能而得到越来越多的应用。
瓷基板是高功率电子电路结构技术和互连技术的基础材料,其结构致密,具有一定的脆性。常规的加工方法,对非常薄的陶瓷薄片,在加工过程中会出现应力,很容易产生破碎。
随着轻量化、小型化的发展趋势,传统的切削加工方法由于精度不高,早已不能满足要求。作为一种非接触加工工具,激光作为一种非接触加工工具,它在陶瓷基板PCB加工中起到了十分重要的作用。
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